在電子行業(yè)主要是線路板、電子元器件生產(chǎn)過程中都需要使用超純水處理設(shè)備,這類產(chǎn)品精密度高,在生產(chǎn)過程中的重要度也在不斷的提升,已經(jīng)逐漸成為能影響產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量的重要因素。一款好的超純水處理設(shè)備,能將生產(chǎn)線路板、電子元器件生產(chǎn)過程中直接影響到實驗結(jié)果和生產(chǎn)結(jié)果的金屬離子降到很低,使生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)得到不錯的提升效果。
在晶體管、集成電路生產(chǎn)中,超純水處理設(shè)備主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設(shè)備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路生產(chǎn)過程中的80%的工序需要使用高純水設(shè)備清洗硅片,水質(zhì)的好壞與集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)成品率關(guān)系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結(jié)耐壓降低,Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導(dǎo)體特性惡化,Ⅴ族元素(P、As、Sb等)會使P型半導(dǎo)體特性惡化,水中細(xì)菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20-50%)會使P型硅片上的局部區(qū)域變?yōu)镹型硅而導(dǎo)致器件性能變壞,水中的顆粒(包括細(xì)菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。
電子行業(yè)超純水設(shè)備特點
目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。
電子行業(yè)超純水處理設(shè)備中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素。這種級別的超純水是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.25MΩ*cm則稱為超純水。目前,超純水設(shè)備的方法通常采用反滲透,離子交換或EDI膜堆技術(shù)等工藝進行制備。
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